光刻机上市公司 光刻机“第一股”正式叩门A股 概念股全名单收好

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高乔研究员

上海证券交易所官网显示，双级光刻机制造商北京华卓精科科技有限公司已进入验收阶段，意味着公司在科技创新板块上市更进一步。有市场人士认为，随着此次事件的逐渐催化，a股光刻机概念股市场有望腾飞。

招股说明书显示，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。根据招股书，华硕晶科的主要业务是R&D，生产、销售和技术服务目前国家鼓励的光刻机双工作台、超精密测控设备和关键零部件等衍生产品。

数据显示，该公司是国内第一家自主研发并实现两级光刻机商业化生产的企业。据该公司官网显示，其生产的光刻机打破了ASML在工作台上的技术垄断。

从招股说明书披露的财务数据来看，公司2019年、2018年和2017年的收入分别为1.21亿元、8600万元和5400万元；于2019年、2018年及2017年，归属于母亲的净利润分别为人民币2100万元、人民币1500万元及人民币1300万元。

根据招股说明书，该公司是国内领先的高端光刻机上海微电子的双级产品和技术开发供应商。公司与上海微电子长期保持着良好的合作关系，共同开展了IC正面光刻机核心技术的研发和IC正面光刻机产品的生产，为国产光刻机的崛起奠定了基础，占据了我国商用光刻机双级的主要市场份额。

数据显示，上海微电子研发的90nm高端步进扫描投影光刻机已完成整机集成测试，并在国内IC正面光刻机龙头企业客户生产线上进行了工艺测试。

光刻机主要由三个核心子系统组成:工件台、投影物镜和光源。数据显示，光刻机作为前道工序七大设备之首，价值含量巨大，占制造设备投资的23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。

目前来看，光刻机的主要生产商包括荷兰 ASML、日本尼康、日本佳能和上海微电子。方正证券研报显示，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ， 三者2019年度IC前道制造光刻机出货量占比高达99%，在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义 。目前，光刻机的主要制造商包括荷兰的ASML、日本的尼康、日本的佳能和上海微电子。据方正证券研究报告显示，目前全球正面光刻机完全被ASML、尼康、佳能垄断，2019年IC正面光刻机出货量占99%。在当前形势下，实现光刻机国产化势在必行，具有重大战略意义。

方正证券陈航建议关注以全国之力帮助国内替代的光刻机产业链。一、光刻机核心部件:上海微电子负责整体集成，易科宏远负责光源系统，郭旺光学负责物镜系统，负责曝光光学。郭克精密的系统，华硕精科的双工作台，麒儿机电的浸没系统；二、光刻配套设施:包括光刻胶、光刻气体、光掩模、光刻机缺陷检测设备、涂胶显影设备等。

下图为光刻机产业链图:

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